hakkında şirket haberleri Elektronik çip üretimi ne kadar temiz gerektirir?

Elektronik yonga üretim sürecinde, farklı üretim alanlarında temizlik gereksinimleri farklıdır.esas olarak ISO 14644-1 standardına ve üretim sürecinin hassasiyet ihtiyaçlarına dayanarak belirlenir.İşte özel gereksinimler:

1Wafer üretim alanı

Litografi alanı:En yüksek temizlik gereksinimleri, genellikle ISO 1-3, 0.1 mikron ve üstündeki parçacıkları kontrol etmesi gerekir.Küçük parçacıklar fotolitografi deseninde kusurlara neden olabilir.Çip performansını etkileyen.
Çizme ve deppozisyon alanları:Yüksek temizlik gereksinimleri, genellikle ISO 3-5, 0.3 mikron ve üstündeki parçacıkları kontrol etmelidir.

2Test alanını paketleyin.

Paket alanı:Orta temizlik gereksinimleri, genellikle ISO 5-7, 0,5 mikron ve üstündeki parçacıkları kontrol etmek gerekir.
Test alanı:Temizlik gereksinimleri düşüktür, genellikle ISO 7-8, 0,5 mikron ve üstündeki parçacıkları kontrol etmek gerekir.

3. Yardımcı alan

Kimyasal depolama alanı:Temizlik gereksinimleri düşüktür, genellikle ISO 7-8.
Ekipmanın bakım alanı:Temizlik minimum gereksinimleri, genellikle ISO 8 seviyesi.

4Personel ve malzeme erişim alanı

Soyunma odaları ve hava duşları:Temizlik gereksinimleri orta, genellikle ISO 5-7.
Malzeme erişim alanı:Temizlik gereksinimleri düşük, genellikle ISO 7-8 seviyesi.
Temizlik koruma önlemleri
Hava arıtma sistemi:Hava temizliğini sağlamak için yüksek verimlilikli filtre (HEPA) ve ultra yüksek verimlilikli filtre (ULPA) ile donatılmıştır.
Hava akışının örgütlenmesi:Dikey tek yönlü akış genellikle litografi bölgesinde kullanılır ve diğer bölgelerde tek yönlü olmayan akış kullanılabilir.
Sıcaklık ve nem kontrolü:Sıcaklık genellikle 22 ° C ± 2 ° C'de kontrol edilir ve nem % 45-65 RH'de kontrol edilir.
Pozitif basınç kontrolü:Temiz alan ve kirli alan arasında 5-10Pa pozitif basınç farkı korunmalıdır.

Özetle, elektronik yonga üretiminin temizlik gereksinimleri sürece ve bölgeye göre değişir, litografi ve kazım alanları yüksek temizlik gereksinimlerine sahiptir,Paketleme ve test alanları nispeten düşükkenBu sıkı temizlik standartları, çip üretiminin kalitesini sağlamak için çok önemlidir.