Mikroelektronik üretimi 3nm ve 2nm proses düğümlerine doğru ilerledikçe, endüstri çevresel kirlenmeyi kontrol etmede benzeri görülmemiş zorluklarla karşı karşıyadır. ISO 4 temiz oda ortamları - metreküp başına 0.1 mikrometre boyutunda yalnızca 10.000 parçacık sayısını sınırlayan - ürün verimini ve güvenilirliğini sağlamak için kritik hale gelmiştir. Bu talep, ultra yüksek temizliği, hızlı teknoloji geçişleri için gereken çeviklikle birleştiren modüler temiz oda çözümlerinde yeniliği teşvik etmektedir.
Geleneksel sabit temiz odalar, mikroelektronik endüstrisinin hızlı evrimine ayak uydurmakta zorlanmaktadır. Yeni bir ISO 4 tesisi inşa etmek 18-24 ay sürebilir ve 1 milyar doların üzerinde maliyete sahip olabilir, bu da değişen proses gereksinimlerine uyum sağlamayı veya üretimi hızlı bir şekilde ölçeklendirmeyi zorlaştırmaktadır. Modüler temiz odalar, aynı sıkı çevresel kontrolleri korurken 3-6 ay içinde konuşlandırılabilen önceden üretilmiş bölmelerle dönüştürücü bir alternatif sunmaktadır.
Bu modüler çözümler, mikroelektronik üretimine özel gelişmiş kirlilik kontrol teknolojilerini entegre etmektedir. Temel özellikler şunları içerir:
İlgili kişi: Mrs. Zhao
Tel: 86 20 13378693703
Faks: 86-20-31213735