hakkında şirket haberleri Yarı iletken fabrikalarındaki modüler temiz odaların özellikleri nelerdir?

Modüler temiz odalar, yarı iletken fabrikalarının alan düzenini belirli proses gereksinimlerine göre uyarlamalarına olanak tanıyan "yapı taşı" mantığıyla tasarlanmıştır.

Örneğin, litografi, aşındırma ve paketleme alanları bağımsız olarak farklı temizlik seviyelerinde (ISO 1'den ISO 9'a kadar) yapılandırılabilir.

Bu esneklik, üretim hatlarını yükseltirken büyük ölçekli yeniden yapılanma ihtiyacını ortadan kaldırır ve kesinti süresini önemli ölçüde azaltır.

Genellikle alüminyum alaşım veya galvanizli çelikten yapılmış modüler paneller, hızlı bir şekilde monte edilip sökülebilir, bu da üretim ölçeği değiştikçe temiz oda alanlarının hızlı genişlemesini veya ayarlanmasını destekler.

Her modüler temiz oda ünitesi, bölgeler arasında çapraz kirlenmeyi önlemek için contalı birleşimler ve basınç farkı kontrolleri dahil olmak üzere entegre sızdırmazlık sistemleriyle tasarlanmıştır.

HVAC sistemleri de modülerdir; her bölüm için özel hava işleme üniteleri (AHU'lar) bulunur, bu da sıcaklık (±0.5°C), nem (±2%) ve partikül sayılarının hassas kontrolünü sağlar.

Yüksek verimli partikül hava (HEPA) veya ultra düşük penetrasyonlu hava (ULPA) filtreleri, tavan ve duvar panellerine gömülüdür ve wafer'lar üzerindeki partikül birikimini en aza indiren tek yönlü laminer hava akışı sağlar.

Ek olarak, modüler temiz odalar, tehlikeli maddeleri belirli bölgelerde tutarak kirleticilerin yayılmasını önleyen entegre zemin drenajı ve atık yönetimi sistemlerine sahiptir.