hakkında şirket haberleri Yarı iletken fabrikalarındaki modüler temiz odaların genel sınıfı nedir?

Yarım iletken fabrikalarında modüler temiz odaların genel sınıfı nedir?

Yarım iletken fabrikalarındaki modüler temiz odalar, belirli üretim süreçleri tarafından belirlenen sıkı hava temizliği standartlarını karşılamak için tasarlanmıştır.Başlıca olarak ISO 14644-1 sınıflandırma sistemine uygunEn yaygın seviyeler şunlardır:

1. ISO Sınıf 4 (Fed-Std-209E Sınıf 10'a eşdeğer)Bu, tipik olarak modüler olarak uygulanan en yüksek seviyedir. Gelişmiş düğüm fotolitografi bölgeleri, kilit ince film çökme bölgeleri,ve EUV (aşırı ultraviyole) litografi ortamlarıBu alanlar, 0,1 μm kadar küçük parçacıklar için sıfıra yakın parçacık sayısına ihtiyaç duyar. Modüler temiz odalar bunu tavandaki yoğun HEPA veya ULPA filtre fan filtre birimleri (FFU) ile başarır.,Yükseltilmiş zemine doğru tek yönlü, dikey bir laminer hava akışı yaratıyorlar.

2. ISO Sınıf 5 (Sınıf 100): Bu, çekirdek üretim alanları için temel standarttır.ve ana akım mantık ve bellek fabrikalarında kimyasal mekanik düzleştirme (CMP) ISO 5'e inşa edilmiştirKontrol edilen bir ortam sağlarlar, burada ≥ 0,5 μm parçacık sayısı metreküp başına 3.520 ile sınırlıdır. Modüler yapı, işlem araçlarının verimli bir şekilde düzenlenmesine olanak tanır.Uygulama kovalamacaları, ve geri dönüş hava plenumları.

3. ISO Sınıf 6 (Sınıf 1000): Bunlar genellikle bazı metroloji alanları, bazı montaj ve ambalaj hatları, wafer denetim istasyonları,ve temiz malzeme transfer koridorları (AMHS)Ayrıca olgun süreç düğümlerinde güç yarı iletkenleri veya cihazların üretimi için de uygundurlar.

4. ISO Sınıf 7 (Sınıf 10,000) ve ISO Sınıf 8 (Sınıf 100,000): Bu seviyelerde modüler temiz odalar destek ve yardımcı işlevlere sahiptir.ve wafer yükleme / boşaltma hazırlık alanlarıToplamda daha yüksek sınıf çekirdek fabrikalara ulaşmasını önlemek için tampon bölgeleri olarak görev yaparlar.